В каталог
Daikin Industries, Ltd. PFC-14 (CF4)
Daikin Industries, Ltd. PFC-14 (CF4) — это газ высокой чистоты, предназначенный для производства полупроводников. С уровнем чистоты 99,999 об.% (5N) или выше, он превосходно подходит для травления SiO₂ и низко-кислотных пленок. Специально разработанный для электротехнической и электронной отрасли, в частности для процессов производства полупроводников, он обеспечивает оптимальную производительность при изготовлении деталей и компонентов.
Маркировки и сертификаты
- Без запаха
Преимущества
- Чистота составляет 99,999 об.% (5N) или более для производства полупроводников
- В основном подходит для травления пленок SiO2 и низкой диэлектрической проницаемости
Функции и применение
- Функции
- Травильный агент
- Применимые процессы
- Производство полупроводников
- Рынки
- Электрика и электроника
- Технология
- Промышленные добавки и материалы
- Функции промышленных добавок
- Травитель
Применение
Электрика и электроника — Детали и компоненты
- Производство полупроводников
Свойства
- Характеристики
- Высокая чистота
- Физическая форма
- Газ
- Характеристики промышленных добавок
- Высокая чистота
- Информация по безопасности
- Обязательно прочитайте Паспорт безопасности (SDS) и меры предосторожности на этикетке перед использованием.Этот продукт был разработан для промышленных целей, и мы не гарантируем безопасность его использования для любых других целей. Если он будет использоваться для медицинских или пищевых применений, пожалуйста, свяжитесь с нами за консультацией.
Семейства продуктов
Промышленные добавки и материалы — Материалы для батарей и электроники
- Электронные химикаты
Другие характеристики
- Химическая формула
- CF₄
- Контролируемые параметры
Чистота (за исключением содержания воздуха), другие фторуглероды, содержание кислоты, влажность, содержание воздуха.
- Упаковочная спецификация
- Контейнер 10 л, контейнер 47 л и т.д.
Технические данные
Таблица 1 из 1
3 строки| Характеристика | Значение | Единица |
|---|---|---|
| Boiling Point | -127.85 | °C |
| Molecular Weight | 88 | — |
| Vapor Pressure (at -80°C) | 1.202 | MPa |
