В каталог
Daikin Industries, Ltd. HFC-23 (CHF3)
Daikin Industries, Ltd. HFC-23 (CHF3) — это газ высокой чистоты, разработанный для производства полупроводников, с уровнем чистоты 99.999 об.% (5N) или выше. Он специально предназначен для травления SiO₂ и пленок с низкой диэлектрической постоянной, обслуживая электротехнический и электронный секторы, в частности, изготовление деталей и компонентов.
Преимущества
- Чистота составляет 99,999 об.% (5N) или более для производства полупроводников
- В основном подходит для травления пленок SiO2 и низкой диэлектрической проницаемости
Функции и применение
- Функции
- Травильный агент
- Применимые процессы
- Производство полупроводников
- Рынки
- Электрика и электроника
- Технология
- Промышленные добавки и материалы
- Функции промышленных добавок
- Травитель
Применение
Электрика и электроника — Детали и компоненты
- Производство полупроводников
Свойства
- Характеристики
- Высокая чистота
- Физическая форма
- Газ
- Характеристики промышленных добавок
- Высокая чистота
- Информация по безопасности
- Обязательно ознакомьтесь с паспортом безопасности (SDS) и мерами предосторожности на этикетке перед использованием.Этот продукт был разработан для промышленных целей, и мы не гарантируем безопасность его использования для любых других целей. Если он будет использоваться для медицинских или пищевых применений, пожалуйста, свяжитесь с нами за консультацией.
Семейства продуктов
Промышленные добавки и материалы — Материалы для батарей и электроники
- Электронные химикаты
Другие характеристики
- Химическая формула
- CHF₃
- Контролируемые показатели
Чистота (без учета содержания воздуха), другие фторуглероды, кислотность, влажность, содержание воздуха
- Упаковочная спецификация
- Контейнер 10 л, контейнер 47 л и т.д.
Технические данные
Таблица 1 из 1
3 строки| Характеристика | Значение | Единица |
|---|---|---|
| Boiling Point | 82 | °C |
| Molecular Weight | 70.01 | — |
| Vapor Pressure (at 25°C) | 4.729 | MPa |
