Semitron® CMP XL20
Semitron® CMP XL20 полиамидаimid (PAI) были специально разработаны для применения в CMP кольцах в полупроводниковой и электронной промышленности благодаря их отличному сроку службы в CMP суспензиях. Помимо этих характеристик, компоненты Semitron® CMP XL20 PAI обладают высокой прочностью и жесткостью, а также превосходной износостойкостью в широком диапазоне температур, что делает этот материал идеальным решением для динамических применений в процессных средах. Особенности: Специально разработаны для CMP колец в полупроводниковой и электронной промышленности Отличный срок службы в CMP суспензиях Высокая прочность и жесткость Превосходная износостойкость в широком диапазоне температур. Преимущества: Идеальное решение для динамических применений в процессных средах Значительное снижение стоимости за пластину Превосходит PPS до 20 раз в большинстве процессов Способствует уменьшению дефектов кромок и улучшению равномерности. Применение: CMP кольца в полупроводниковой и электронной промышленности Может использоваться в зажимных кольцах, кольцах в канавках, винтах, штифтах и распылителях Подходит для использования в центрирующих штифтах, фокусировочных кольцах, изоляторах, вакуумных подушках и направляющих для пластин.
Функции и применение
- Применение
- Электрика и электроника — детали и компоненты
Свойства
- Плотность
- 1,400.0 kg/m³
- Характеристики
- Экономически эффективный
- Высокая жесткость
- Высокая прочность
- Высокая устойчивость
- Без запаха
- Износостойкий
- Физическая форма
- Пластины, Стержни, Трубка
- Цвет
- Зеленый
Идентификация
- Бренд
- Semitron®
- Название полимера
- Polyamide-imide (PAI)
Другие характеристики
- Модуль упругости при растяжении
- 3,962.9 MPa
- Семейства продуктов
- Пластики — детали, формы и пленки
Технические данные
Таблица 1 из 4
9 строк| Характеристика | Значение | Единица | Метод |
|---|---|---|---|
| Tensile Strength | 20000 | psi | ASTM D638 (8) |
| Tensile Strain (Elongation) at Break | 8.8 | % | ASTM D638 (8) |
| Tensile Strain (Elongation) at Break | 10 | % | ASTM D638 (8) |
| Tensile Modulus of Elasticity | 575 | ksi | ASTM D638 (8) |
| Shear Strength | 16000 | psi | ASTM D732 |
| Compressive Strength | 24000 | psi | ASTM D695 (11) |
| Flexural Strength | 24000 | psi | ASTM D790 (13) |
| Flexural Modulus of Elasticity | 600 | ksi | ASTM D790 |
| Hardness (14) | 120 | Rockwell M | ASTM D785 |
Таблица 2 из 4
6 строк| Характеристика | Значение | Единица | Метод |
|---|---|---|---|
| Glass Transition Temperature (DMA, Tan Delta) | 527 | °F | DMA |
| Thermal Conductivity (73°F) | 1.8 | BTU in./(hr. ft² ˚F) | — |
| Coefficient of Linear Thermal Expansion (-40 to 300°F) | 17 | µin./in./°F | ASTM E-831 (TMA) |
| Heat Deflection Temperature (Method A: 1.8 MPa (264 PSI)) | 532 | °F | ASTM D648 |
| Continuous Allowable Service Temperature in Air (20.000 hrs) (3) | 500 | °F | — |
| Flammability (3 mm) (5) | V-0 | — | UL 94 |
Таблица 3 из 4
4 строки| Характеристика | Значение | Единица | Метод |
|---|---|---|---|
| Electric Strength | 580 | Volts/mil | ASTM D149 |
| Surface Resistivity | 10000000000000 | Ohm/sq. | ANSI/ESD STM 11.11 |
| Dielectric Constant (1 MHz) | 4.2 | — | — |
| Dissipation Factor (1 MHz) | 0.026 | — | — |
Таблица 4 из 4
5 строк| Характеристика | Значение | Единица | Метод |
|---|---|---|---|
| Specific Gravity | 1.4 | — | ASTM D792 |
| Water Absorption (After 24h Immersion in Water of 73°F) | 0.4 | % | ASTM D570 (17) |
| Water Absorption (At Saturation in Water of 73°F) | 1.7 | % | ASTM D570 (17) |
| Wear Rate | 1000 | in³.min/ft.lbs.hr x 10⁻¹⁰ | QTM 55010 (19) |
| Limiting PV (100 FPM) | 4000 | ft.lbs/in².min | QTM 55007 (21) |
